晶圆激光隐(yǐn)形切割(gē)机
全自动(dòng)晶圆(yuán)激光隐(yǐn)形切割设备主要是(shì)适(shì)用于各种半导(dǎo)体(tǐ)硅,锗,碳化硅(guī),氧化锌(xīn)等晶圆材料,隐形(xíng)切割是将激光聚光于工件(jiàn)内部,在工件内部形成改质(zhì)层,通过扩(kuò)展胶膜等方(fāng)法将(jiāng)工件分割成芯片的切割方法;适用于4inch,6inch,8inch 晶圆。
产品描(miáo)述
产品特点:
•FFC 上下料(liào)方式,取料(liào),切(qiē)割,放料回原位(wèi)。
• 多相(xiàng)机视觉抓取晶(jīng)圆边及特征点定位,自动对(duì)位,自动寻(xún)焦;高精密运动平台。
• 全自动上下料(liào) , 光(guāng)路稳定可靠(kào) , 高精度视觉系(xì)统 , 加(jiā)工效率高。
• 首镭自主(zhǔ)研发软件系统,操作简易,功能齐(qí)全(quán)。
• 可选焦点:单焦点,双(shuāng)焦(jiāo)点(diǎn),多焦点(diǎn)(可选)。
产品应用领域:
全自动晶圆激光(guāng)隐形切割设备主要是适(shì)用于各种半导体硅,锗,碳化硅,氧(yǎng)化锌等晶圆材料,隐形(xíng)切(qiē)割是(shì)将激光聚光于工件内部,在工件内部形成(chéng)改质层(céng),通过扩展胶膜等(děng)方(fāng)法将工件分割成芯片的(de)切(qiē)割方法;适用于4inch,6inch,8inch 晶圆。
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